１. はじめに ２. 会社概要（59） ３. 製品紹介写真 1 ECR プラズマLD＝半導体レーザ（Laser Diode）表 AFTEX® シリーズ日本製鋼所技報 No.76（2025.11）JSW アフティ株式会社は、2014 年に三井造船株式会社から株式会社日本製鋼所へ事業譲渡されて設立された。 （株式会社日本製鋼所 100 % 出資）当社は、ECR（電子サイクロトロン共鳴）プラズマを用いて、半導体デバイスの製造工程で使用される成膜装置を主力製品としており、国内及びアジア圏の半導体レーザメーカーに採用されている。また、この ECR プラズマ技術を用いた新たな成膜装置の開発、上市を進めており、更なる事業拡大を目指している。〇営業品目電気 ・電子部品に関わる成膜装置の製造販売と据付及び保守と消耗品の供給。〇会社来歴1989 年 5 月 日本電信電話株式会社（現NTT 株式会社） と新日本製鉄株式会社の出資により、ECR 成膜装置事業を目的とした「株式会社アフ ティ *」として設立1998 年 10 月 日本電信電話株式会社と NTT エレクトロ ニクス株式会社を親会社とする「NTT アフ ティ株式会社」に社名変更2007 年 8 月 三井造船株 式会社と三井 物産エレクトロ ニクス株式会社に株式が譲渡され、「MES アフティ株式会社」を設立2014 年 4 月 株式会社日本製鋼所に全ての株式が譲渡 され、「JSW アフティ株式会社」を設立2024 年 4 月 約 20 年 間 本 社 のあった 八 王 子 市より、 株式会社日本製鋼所横浜製作所内に本社・ 工場機能を移転* アフティ：AFTY（Advanced Film Technology）３－１．ECR プラズマ成膜装置 （AFTEX® シリーズ）ECR プラズマ成膜装置は、日本電信電話株式会社の研究所で開発された“分岐結合 ECR プラズマ”を用いて、低温、低ダメージで緻密、平滑、高品質な薄膜が形成できることを特長としており、幅広い分野に適合したスパッタ装置である。特に、青紫色・赤色・赤外などの各種波長の高出力半導体レーザの製造工程（端面コート）に欠くことのできない装置となっている。他にも、ハードディスクの GMR（巨大磁気抵抗効果）ヘッドや SAW（表面弾性波）デバイス等の保護膜としても採用されている。AFTEX® シリーズのラインナップを、表に示す。各装置に搭載されている ECR プラズマ源 1 基につき、1 種類の固体材料をターゲットとして用い、導入するガス（酸素、窒素）の組合せで酸化物や窒化物、酸窒化物の薄膜を形成することができる。半導体レーザは、その端面に屈折率の異なる 2 種類の膜を交互に積層した反射膜を設ける必要があり、ECRプ ラ ズ マ 源 を 2 基 搭 載 し た AFTEX-6000 シ リ ー ズ、AFTEX-8000 シリーズが採用されている。 JSWアフティ株式会社会 社 紹 介
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